真空・圧力制御モジュール

真空ポンプユニット：ドライスクリューポンプ、到達真空度 ≦5kPa

定圧システム：PID自動調整、圧力変動 ±1%

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概要

●真空ポンプユニット

無油ドライスクリュー真空ポンプを採用。到達真空度は5kPa以下です。耐食性に優れたチタン合金製ロータとセラミックコーティングされたチャンバーを組み合わせることで、無汚染・低騒音運転を実現します。微粒子を含むガスの連続吸引に対応しており、製薬向け溶媒回収や電子材料用特殊ガス処理など、清浄な真空環境が要求される用途に適しています。

●圧力安定化システム

高精度PIDアルゴリズムと応答性の高いバルブ群を統合し、システム圧力をリアルタイムで制御します。多段バッファ設計により、真空から正圧までの全範囲にわたる圧力調整が可能です。蒸発プロセスの安定性を確保し、ファインケミカルや高純度材料合成など、圧力変動に敏感な工業生産のニーズに対応します。

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