真空与压力控制模块

真空泵组：干式螺杆真空泵，极限真空度≤5kPa

稳压系统：PID自动调节，压力波动±1%

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概述

●真空泵组

采用无油干式螺杆真空泵，极限真空度≤5kPa，耐腐蚀钛合金转子搭配陶瓷涂层腔体，实现无污染、低噪音运行。支持连续抽吸含微颗粒气体，适配制药溶剂回收、电子特气处理等对洁净真空要求严苛的场景。

●稳压系统

集成高精度PID算法与快速响应阀门组，实时调节系统压力。多级缓冲设计兼容真空至正压全范围调控，确保蒸发过程稳定性，满足精细化工、高纯度材料合成等对压力敏感的工业化生产需求。

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