公用工程模块

超纯水/注射水（UPW/WFI）供应

高纯度氮气/氢气发生器

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概述

● 超纯水/注射水（UPW/WFI）供应

采用EDI+多效蒸馏工艺，配备臭氧循环灭菌与紫外消毒模块，符合USP<645>/EP 2.2.45标准，适用生物制药、半导体清洗等超纯工艺需求。

● 高纯度气体供应系统

配置PSA氮气发生器与电解氢气系统，压力范围可调节，流量稳定；内置脱氧催化剂与颗粒过滤器，满足氢化反应、惰性保护等严苛工况。

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